• 专利附录
  • 专利说明
  • 权利要求
  • 类似技术
  • 同族专利
  • 引用文献
  • 法律状态
  • 优先权
    • 专利摘要:

    公开号:WO1989004883A1
    申请号:PCT/DE1988/000650
    申请日:1988-10-24
    公开日:1989-06-01
    发明作者:Eva Bauersachs
    申请人:Siemens Aktiengesellschaft；
    IPC主号:C23F1-00
    专利说明:
    [0001] Ätzverfahren für Nickel
    [0002] Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Nickelätzen von Strukturen oder Oberflächen mit besonders glatten Ätzflächen, insbesondere von Durchbrüchen in Nickelblechen, z. B. zur Herstellung von Nickelformätzteilen für Druckköpfe eines Tintenstrahldruckers.
    [0003] Für Tintenstrahldrucker ist ein Druckkopf bekannt, dessen Tintenkammern und -kanäle aus zusammengeschichteten Metallfolien bestehen.
    [0004] Bisher werden hierfür Bleche aus Neusilber oder Chromnickelstahl verwendet, die ätztechnisch hergestellt wurden. Wegen wesentlich besserer Korrosions- und Schweißeigenschaften sollen diese Bleche jetzt in Nickel geätzt werden. Die bisher bekannten Ätzmittel sind für Nickel nicht gut geeignet, da sie sehr rauhe Kanten mit Rauhtiefen > 4 μm erzeugen.
    [0005] Es ist bekannt, Nickel mit Eisen-III-chloridätzlösung zu ätzen (siehe z. B. Galvanotechnik 63 (1972) Nr. 4, S. 337 -342). Bei einer in dieser Literaturstelle auf der Seite 340 angegebenen Konzentration von 580 - 620 g/1 FeCl2 · 6H2O erhält man aber nur rauhe Kanten.
    [0006] Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, das eingangs genannte Verfahren zu konzipieren, das Lochfraß und stark aufgerauhte Ätzflächen vermeidet, eine ausreichend hohe Ätzgeschwindigkeit gewährleistet und sehr glatte Kanten erzeugt.
    [0007] Diese Aufgabe wird nach dem Kennzeichen des Hauptanspruchs gelöst. Vorteilhafte Ausführungsformen und Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen enthalten. Hochkonzentrierte Eisen-III-chloridätzlösung hat man bisher nicht verwendet, weil diese Mengen bei Raumtemperatur nicht löslich sind.
    [0008] Der wesentliche Vorteil des erfindungsgemäßen Verfahrens besteht darin, daß die geätzten Kanten und Flächen glatt sind. Die mittlere erzielte Rauhigkeit liegt bei 0.56 μm. Bei der Verwendung von derartigen Blechen für Tintenstrahldrucker wirkt sich das sehr positiv auf den Tintenfluß aus.
    [0009] Bei dem Ätzverfahren nach der Erfindung wird mit einer Eisen-III-chloridätzlösung zwischen 1200 g/1 FeCl3 · 6 H2O und 1450 g FeCl3 · 6 H2O/l gearbeitet. Die Grenzkonzentration nach oben ist Sättigung bei noch vertretbaren Lagertemperaturen - in unserem Fall 28ºC. Aus technischen Gründen ist es deshalb nicht empfehlenswert, mit noch höheren Konzentrationen zu ätzen. Die untere Grenzkonzentration ist erreicht, wenn die Ätzkanten rauh werden bzw. ein Belag auf der Nickeloberfläche auftritt.
    [0010] Ausführungsbeisoiel:
    [0011] Vorzugsweise wird mit einer Lösung, die ca. 1300 bis 1400 g FeCl3 · 6 H2O/l enthält, geätzt.
    [0012] Eine Temperaturerhöhung bewirkt Beschleunigung des Ätzprozesses. Vorzugsweise wird bei 55ºC gearbeitet. Diese Temperatur macht den Einsatz einer handelsüblichen Leiterplattenätzmaschine (PVC) möglich.
    权利要求:
    ClaimsPatentansprüche
    1. Verfahren zum Nickelätzen von Strukturen oder Oberflächen mit besonders glatten Ätzflächen, insbesondere von Durchbrüchen in Nickelblechen, z. B. zur Herstellung von Nickelformätzteilen für Druckköpfe eines Tintenstrahldruckers, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , daß mit einer hochkonzentrierten Eisen-III-chloridätzlösung (vorzugsweise 1350 g/1 enthaltend) ohne Zusatz von Säuren geätzt wird.
    2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , daß eine Eisen-III-chloridätzlösung verwendet wird, die zwischen 1200 g/1 FeCl3 · 6 H2O und 1450 g/1 FeCl3 · 6 H2O ohne Zusatz von Säure arbeitet.
    3. Verfahren nach Anspruch 1 und 2, dadurch g e k e n n - z e i c h n e t , daß der Ätzvorgang zwischen 28 und 60ºC vor sich geht.
    类似技术:
    公开号 | 公开日 | 专利标题
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    同族专利:
    公开号 | 公开日
    DE3740381A1|1989-06-08|
    引用文献:
    公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题
    法律状态:
    1989-06-01| AK| Designated states|Kind code of ref document: A1 Designated state(s): JP US |
    1989-06-01| AL| Designated countries for regional patents|Kind code of ref document: A1 Designated state(s): AT BE CH DE FR GB IT LU NL SE |
    优先权:
    申请号 | 申请日 | 专利标题
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